UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器：突破0.1微米检测极限，重新定义半导体洁净度标准。该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可准确检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。

核心技术创新

纳米级检测能力

U-III搭载HeNe激光传感器，分辨率达0.1微米，支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。

静态采样模式：通过优化气流控制，减少测量误差，提升数据稳定性。

智能化设计与操作体验

7英寸高分辨率触控屏：支持实时数据可视化与交互操作，简化流程。

双电池热插拔系统‌：支持连续生产场景下的不间断作业，电池更换无需停机。

USB数据接口与软件升级‌：便捷导出检测报告，并可通过固件更新持续优化性能。

行业应用与效益

提升制造效率

减少50%自净时间‌：通过量化表面污染数据，缩短设备维护周期（PM周期），提升产线吞吐量。

延长MTBC（平均无故障周期）：结合颗粒控制策略，关键设备可靠性提升4倍以上。

覆盖高洁净场景

半导体制造：晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。

精密光学与电子：液晶面板、光学镜片组件、器械的表面污染控制

测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒径分布误差：≤±30%

浓度示值误差：≤±30%

重复相对偏差：≤±10%FS

重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器

温度范围：-40 ～ 120℃

气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；

采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；

检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换

检测方式：定时检测、循环检测可设置     

报警方式：自定义数量报警值、质量报警值

限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器

法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等