维意真空低损耗光纤真空馈通法兰，支持定制
北京维意真空技术应用有限责任公司
中国 北京
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
维意真空
型号
W-GXD
原理类型
真空溅射镀膜机
应用领域
能源电池
极限真空度类型
超高真空
极限真空度
0.000001Pa
镀膜室尺寸
350mm
工作真空度
0.1Pa
升压率
2Pa/h
抽气时间
45min
靶材利用率
58%
基材尺寸
6英寸
可镀基材
硅片
卷绕速度
5m/min
真空室材质
316不锈钢
真空获得系统
机械泵
工件运动方式
自动
系统控制
PLC
最高加热温度
150℃
热区加热均匀度
3±℃
冷却方式
自然冷却
流量
0.003L/min
蒸发功率
1.5kW
整机总功率
2kW
适用领域
真空镀膜
加工定制
加工定制
外观尺寸
650*650*750mm
重量
100kg
靶材直径
2英寸
样品台直径
4英寸
磁控靶数量
2个
