维意真空W-TZ4高低温真空探针台，四探针臂低漏电流
北京维意真空技术应用有限责任公司
中国 北京
产品属性
图文详情
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品牌
维意真空
型号
W-TZ4
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
光学薄膜
极限真空度类型
中真空0.1~100Pa
极限真空度
0.1Pa
镀膜室尺寸
150mm
工作真空度
1Pa
升压率
2Pa/h
抽气时间
5min
靶材利用率
58%
基材尺寸
6英寸
可镀基材
硅片
卷绕速度
5m/min
真空室材质
316不锈钢
真空获得系统
机械泵
工件运动方式
自动
系统控制
PLC
最高加热温度
150℃
热区加热均匀度
3±℃
冷却方式
自然冷却
流量
0.003L/min
蒸发功率
1.5kW
整机总功率
2kW
适用领域
真空镀膜
加工定制
加工定制
外观尺寸
650*650*750mm
重量
100kg
管道温度
200
样品台直径
6英寸
源瓶最高温度
300
样品台温度
200
