【维意真空W-EVT3高真空热蒸发镀膜手套箱一体机，超高真空】价格_厂家

品牌

维意真空

型号

W-EVST

原理类型

真空化学气相沉积镀膜机

应用领域

光学薄膜

极限真空度类型

中真空0.1~100Pa

极限真空度

0.1Pa

镀膜室尺寸

150mm

工作真空度

1Pa

升压率

2Pa/h

抽气时间

5min

靶材利用率

58%

基材尺寸

6英寸

可镀基材

硅片

卷绕速度

5m/min

真空室材质

316不锈钢

真空获得系统

机械泵

工件运动方式

自动

系统控制

PLC

最高加热温度

150℃

热区加热均匀度

3±℃

冷却方式

自然冷却

流量

0.003L/min

蒸发功率

1.5kW

整机总功率

2kW

适用领域

真空镀膜

加工定制

外观尺寸

650*650*750mm

重量

100kg

管道温度

200

样品台直径

6英寸

源瓶最高温度

300

样品台温度

200

SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。