外观 无色透明液体

气味 刺激性酸味(阈限值0.04ppm)
密度(20℃)1.13g/cm³
粘度(25℃)1.15cP
介电常数 83.6(25℃,纯液态HF)
pKa值 3.17(25℃水溶液)
相变特性
参数 数值
熔点 -35℃
沸点 112℃
临界温度 188℃
临界压力 6.48MPa

工业用途
核心应用领域:
微电子制造(占全球用量35%)
晶圆清洗:去除SiO₂层(反应速率0.1-0.5μm/min)
芯片刻蚀:与HNO3混合使用(配比HF:HNO3=1:3~1:10)
石油精炼(占28%)
烷基化催化剂:70%HF,操作温度30-40℃
催化剂消耗量:0.4-0.6kg/t汽油
金属处理(20%)
不锈钢酸洗:5-15%HF+10-20%HNO3混合液
钛合金处理:HF浓度2-5%
新兴应用:
锂电池电解液添加剂(LiPF₆合成)
光伏产业(多晶硅表面处理)
安全特性
暴露限值:
TWA 0.5ppm(OSHA)
STEL 2ppm(NIOSH)
IDLH浓度:30ppm
解毒剂:
皮肤:六氟灵/2.5%葡萄糖酸钙凝胶
全身:静脉注射10%葡萄糖酸钙
储存运输
材料兼容性:
耐蚀材料 不耐材料
聚四氟乙烯 玻璃
聚丙烯 碳钢
蒙乃尔合金 混凝土
