非接触式光学轮廓仪-微型干涉仪“NanoScan-01"是根据Linnik的方案制作的.
通过使用Linnik配置，该设备提供了比较大视场更好的横向分辨率，并具有更大的工作距离和表面测量保真度。
NanoScan-01光学表面粗糙度测量仪利用动态干涉技术，结合相移数据采集分析和高速光学传感器。
内配置特殊软件，可提供广泛的2D和3D分析选项，数据过滤，掩蔽和导入/导出功能。
NanoScan-01可以通过安装在机器人手臂上轻松地定位在大型部件上，从而可以任意测量站内大型产品和抛光设备上任何地方的表面参数。​