这家SiC衬底企业获数亿元D轮融资,第三代半导体材料市场爆发在即!在半导体行业中,高纯石墨凭借其独特的物理化学性能,成为制造设备中不可或缺的关键材料,主要作为加热系统、保温罩、电极等核心部件使用。采用高纯石墨制造这些部件,主要是充分利用了其优异的耐高温特性,能够在1600-2000℃的极端环境下保持结构稳定性,这是传统金属材料无法比拟的。此外,高纯石墨还具有耐腐蚀、抗氧化、导电导热性能好等突出优点,这些特性在半导体工业中得到了充分发挥,不仅使工件使用寿命大幅延长,还能有效减少摩擦损耗、提高能效,为生产企业节省可观的电力成本。
我司专注于半导体用高纯石墨部件的研发与制造,主要采用德国进口的半导体等级石墨材料,通过精密加工工艺制作各类离子注入用石墨耗材。我们的产品线涵盖标准件及客制化规格,能够满足不同客户的个性化需求。高纯度石墨因其均匀细颗粒的微观结构,成为理想的低原子序数材料,对离子、等离子体具有较强的抗轰击能力,同时具备抗腐蚀性能。更重要的是,我们的石墨材料纯度高,金属离子含量极低,完全不会对半导体制造过程造成污染。在离子注入设备中,金属部件长期暴露在高能离子束环境下会产生严重损耗,而采用我们特制的石墨件作为屏蔽罩,可显著延长设备使用寿命,降低维护成本。
我们的高纯石墨产品在半导体制造领域应用广泛,主要包括:等离子cvd用部件、等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。


