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MII6000微型光栅编码器,纳米分辨率,金属光栅尺,玻璃码盘
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产品属性
图文详情
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品牌
MicroE
型号
MII6800
用途类型
高精密运动台
工作原理
光栅式/光栅尺
输出信号
数字型
材质
其他
位移特征
直线或转角
测量范围
1.2nm-30m
分辨率
1.2nm-5μm
精度
5μm/m
栅尺材质
金属或玻璃
栅距
20μm
读数头尺寸
22.6×12.7×8.1mm
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