PFA氟树脂晶圆载具
产品概述
本产品为Miraial品牌PFA材质晶圆存储解决方案,适用于半导体制造过程中的晶圆保护与存放。采用高纯度氟树脂材料制成,具有优良的化学稳定性和耐温性能。
技术参数
项目 | 参数说明 |
标准存放量 | 25片晶圆 |
主体材质 | PFA氟树脂 |
标准槽间距 | 4.76mm(3/16英寸) |
产品特性
- 采用PFA材料制造,具有良好的耐化学腐蚀性能
- 标准槽间距设计,兼容常见晶圆规格
- 表面光滑平整,减少晶圆表面划伤风险
- 适用于洁净室环境使用
应用说明
本产品为SP系列干燥器专用层板,主要用于半导体制造过程中晶圆的存放与保护。产品设计符合行业标准,可满足常规晶圆处理需求。
定制服务:可提供带手柄型号定制服务,具体需求请咨询客服人员。
产品规格可能因批次不同略有差异,具体以实物为准