◦ 类型：涡旋干式真空泵

• 性能参数
◦ 抽速：在50Hz和60Hz时，峰值抽速均可达35m³/h。
◦ 极限真空度：1×10⁻²mbar（8×10⁻³Torr）。
◦ 电机功率：0.52kW。
◦ 噪音等级：57dB(A)。
◦ 重量：48kg。
◦ 进气口法兰：NW40。
◦ 排气口法兰：NW25。

• 产品特点
◦ 清洁无油：采用轴承罩将真空环境与润滑剂隔离，创造无油清洁的真空环境，避免油品对真空系统和工艺过程的污染。
◦ 维护简便：简单的单侧涡旋设计，使维护工作可在数分钟内完成，降低了运行成本，延长了正常运行时间。
◦ 智能驱动：智能电动机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
◦ 蒸汽处理能力强：高流量气镇特性使其能够以高达240g/hr的速度抽取包括水蒸气在内的蒸汽，通过可调气囊实现对蒸汽的处理，扩大了应用范围。
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• 适用领域
◦ 分析仪器领域：如电子扫描显微镜等，为分析过程提供稳定的真空环境。
◦ 半导体与光伏产业：用于半导体工艺中的薄膜沉积、蚀刻等过程。
◦ 其他领域：还广泛应用于蒸馏/萃取/过滤、冷冻干燥、熔炉、凝胶体干燥、稀有气体再循环和回收等领域。
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