净化棚(外文名:CLEAN BOOTH),又称洁净棚、无尘棚,是一种用于操作区内局部净化级别要求高的区域的空气净化设备 [1] [10]。其采用工业铝材、不锈钢方通或铁方通喷塑作为框架,四周悬挂防静电垂帘或钢化玻璃,顶部配备风机滤网机组(FFU)送风系统,内部净化级别可达100-10000级 。
该设备通过FFU风机吸入空气,经初效过滤器和高效过滤器(HEPA/ULPA)净化后形成垂直单向流,可过滤99.97%≥0.3μm或99.9995%≥0.12μm的微粒 。其采用模块化组装设计,支持万向轮移动及多台组合扩展,具有成本低、施工快、空间适配灵活等特点 ,广泛应用于电子制造、生物制药、食品包装等领域的核心工序区 。