Shinnetsu新热工业气体加热器CLH−0.9在半导体行业具有广泛的应用和出色的性能,以下是其商品推荐详情:
• 基本参数:
◦ 功率:900W
◦ 出入口尺寸:φ9.53
◦ 外装外径:φ50.8mm
◦ 外装长度:179mm
◦ 出口气体温度范围:高可设置为500°C
• 产品特点:
◦ 高效节能:
采用先进的加热技术,热效率高达90%以上,比传统加热方式节能30%以上,可有效降低半导体生产过程中的能源消耗。
◦ 精控温:配备高精度温度控制系统,
控温精度可达±1℃,能够满足半导体制造工艺对温度的严格要求,确保工艺的稳定性和一致性。
◦ 安全可靠:具有电气绝缘特性,可防止漏电等安全隐患,同时其结构设计稳固,耐振动、耐冲击,能够在半导体生产车间的复杂环境中稳定运行。此外,还采用了多重安全保护装置,有效防止过热、过载等情况。
◦ 长寿命:发热线不易被氧化,采用优质材料和先进工艺制造,使用寿命长达10年以上,可降低用户的设备更换成本和维护成本。
◦ 结构紧凑:内部结构特殊,无需使用隔热材料即可降低外管表面温度,实现小型化设计,重量约350克,安装位置自由度大,可满足半导体设备紧凑空间的安装需求。
• 应用场景:广泛应用于半导体制造过程中的化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、光刻胶烘烤等核心工艺,以及刻蚀和清洗设备中,能耐受等离子体、卤素气体及酸性环境。

