Toray东丽氧气浓度计MS-500是一款专为半导体电子元件行业设计的高性能氧气分析仪：

• 核心参数
◦ 测量原理：采用电化学传感器（长寿命型）。
◦ 测量范围：0.1%～25% O₂，分辨率为0.01%，精度为±0.5% FS。
◦ 响应时间：<15秒（T90，实时动态监测）。
◦ 输出信号：4-20mA模拟量 + RS-485数字通信（支持Modbus协议）。
◦ 电源输入：DC 24V（±10%），功耗≤3W。
◦ 工作温度：-20℃～50℃。
◦ 防护等级：IP65。
◦ 尺寸重量：150×80×45mm，重量约600g。

• 产品特点
◦ 精准可靠：采用医级传感器技术，精度高达±0.5%，可杜绝误报。
◦ 快速响应：能在15秒内捕捉氧气波动，及时保障关键环境安全。
◦ 超长耐用：传感器寿命≥3年（常规使用），且支持快速更换，3年免维护设计大幅降低运维成本。
◦ 智能互联：具备工业标准通信协议，可无缝对接PLC/DCS系统。
◦ 安装便捷：支持壁挂/导轨安装两用，结构紧凑，节省安装空间。

• 应用场景：非常适合半导体电子元件生产过程中的氧气浓度监测，如在芯片制造的光刻、蚀刻等工艺中，可精确控制氧气浓度，确保产品质量和性能的稳定性。此外，还可用于工业安全、环保监测、科研实验等领域。