日本YUTAKA高压半导体气体调节器L20SS是专为高压半导体工艺制造气体而设计的产品。以下是其商品推荐详情：

• 基本参数：标准流量为~60NL/分钟，入口压力14.8MPa以下（大19.6MPa），调节压力大0.99MPa，气源压力波动为入口压力每0.1MPa，调节压力变化量0.00021MPa，承受压力22.2MPa（进口侧），CV值为0.09，工作温度为-10~+40℃，外漏为1×10-11Pa·m3/s·He（真空法），内部容积4.67cm³（不含3个压力表及接头）。

• 结构特点：采用外部金属密封和焊接接头，具有优异的外部泄漏和颗粒性能，能有效防止气体泄漏和颗粒污染，确保气体的高纯度。

• 材质与兼容性：气体接触部分材质为不锈钢316L等，可兼容7种特殊高压气体、腐蚀性气体、有毒气体等多种气体，其中L20SS-CO型号专为一氧化碳（CO）气体选择。

• 安装方式：可使用前面板安装螺母或后螺钉进行安装，方便在气瓶柜等设备中进行安装固定。