真空压力调节器L96系列 进口双级压力调节设备控制阀 日本YUTAKA

• 产品类型：压力类型。
• 材质：采用 SUS316L 材质，部分部件可能采用 SUS + 哈氏合金。
• 流量：标准流量为 5NL/min。
• 压力范围：压力调节范围为 - 0.1MPa 至 0.2MPa，耐压 0.99MPa。​

• 结构特点：采用喷射器法，结构简单，由于废气被驱动氮气稀释，安全性高。减压机构入口设计可承受22.2MPa的压力。
• 材质与性能：材质为不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和耐用性。通过精密加工技术，可实现高真空度，非常适合气瓶、橱柜等的通风管道。FR-IO-P置减压机构，其减压机构入口设计可承受22.2MPa的压力，通过精密加工技术，可实现高真空度，非常适合气瓶、橱柜等的通风管道。

• 安装与使用：该设备外形尺寸较为小巧，便于安装和操作，适用于多种半导体生产场景。

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