UXG/LG方型真空门阀 北泽/开滋KITZ SCT​

“UXG，LG”系列是为隔开半导体真空装置的反应炉与传递室而开发的方型门阀。阀体为铝制，使用复动式空气执行机构驱动。带加热器规格阀门的特 点是可以从外部和内部双向进行加热，均热性能高，除了使用固定阀体内置 的外部加热器进行加热外，可以活动的阀体内部也设有加热器。阀身和阀体可以设定为 180℃以下的任意温度。

北京信源天恒科技有限公司代理日本本多（HONDA）及开滋/北泽（KITZ SCT）全线产品。

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