高真空法兰 ：250ISO-F/250CF

抽速： 2100

氮气短时间运行/抽空：30

氮气持续运行：20

前级耐压Ar/N2：2.5

标称转速 ：30600min⁻¹

极限真空ISO-F/CF ：＜ 10⁻⁸/＜10⁻¹⁰mbar

启动时间min ：小于5分钟

前级真空法兰 ：DN40KF

冷却水接头 ：G1/8

重量kg  ：50

振动值 ：＜0.01um