小型真空发生器VG-1・2 进口不锈钢真空设备 日本YUTAKA

• 基本参数：排出气体压力大为14.8MPa，驱动用N₂压力大为0.99MPa，外部泄漏为1×10⁻⁹Pa·m³/s·He（真空法）。

• 结构特点：采用喷射器法，结构简单，由于废气被驱动氮气稀释，安全性高。减压机构入口设计可承受22.2MPa的压力。

• 材质与性能：材质为不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和耐用性。通过精密加工技术，可实现高真空度，非常适合气瓶、橱柜等的通风管道。FR-IO-P置减压机构，其减压机构入口设计可承受22.2MPa的压力，通过精密加工技术，可实现高真空度，非常适合气瓶、橱柜等的通风管道。

• 安装与使用：该设备外形尺寸较为小巧，便于安装和操作，适用于多种半导体生产场景。

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