1. 概述
本仪器是以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱检漏仪器，广泛用于科研、真空、制冷、汽车、电力、以及其它相关行业，具有响应速度快、灵敏度高、易使用、少维护的特点。
1.1. 技术参数
小可检漏率（负压法） | 5×10-13Pa·m3/s |
小可检漏率（正压法） | 5×10-9Pa·m3/s |
漏率显示范围 | 1×10-1～1×10-13Pa·m3/s |
粗检 进气口压强 中检 精检 |
启动时间 | <2min |
响应时间 | <0.5s |
粗抽泵抽速 | 16 m3/h |
重量 | 83Kg |
尺寸（长*宽*高 mm） | 830*520*1000 |
系统说明 |
质谱系统 | 质谱系统是有离子源、放大器和质谱管组成 |
分子泵 | 给质谱系统提供高真空环境，以便质谱系统可靠工作 |
前级泵 | 分子泵提供初级工作真空，以及小工件检漏抽空 |
VG | 电磁阀，粗检阀 |
VF | 电磁阀，中检阀 |
VU | 电磁阀，精检阀 |
VP | 电磁阀，预抽阀 |
VV | 电磁阀，放气阀 |
VC | 电磁阀，定标阀 |
P2 | 真空计，测量分子泵排气口压力 |
P1 | 真空计，测量检漏口压力 |
标准漏孔 | 校正仪器 |
检漏口 | 连接工件或吸枪 |
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2.1. 检漏仪主要部件
序号 | 名称 | 品牌型号 | 描述 | 数量 |
1 | 分子泵 | 普发splitflow80/莱宝turbovac 90 | | 1台 |
2 | 机械泵 | 莱宝 D16C | | 1台 |
3 | 电磁阀 | 德国宝帝0256 | | 1套 |
4 | 真空计 | 英福康 PSG500 | | 1只 |
5 | 质谱管 | 歌博科技 | | 1只 |
6 | 放大器 | 歌博科技 | | 1只 |
7 | 离子源 | 歌博科技IS02 | 双铱灯丝 | 1只 |
8 | 真空阀座，真空管路 | 歌博科技 | | 1套 |
9 | 主控板 | 歌博科技 | | 1套 |
10 | 灯丝板 | 歌博科技 | | 1套 |
11 | 基板 | 歌博科技 | | 1套 |
12 | 驱动板 | 歌博科技 | | 1套 |
13 | I/O板 | 歌博科技 | | 1套 |
14 | 标准漏孔 | 歌博科技 | | 1只 |
15 | 机架钣金 | 歌博科技 | | 1套 |
2.2. 设备主要性能
质谱管 | 磁场 180 度偏转型质量分析计 |
检测气体 | 氦气 |
离子源 | 氧化钇涂层铱金属灯丝：2 根 |
分子泵 | 德国进口分子泵 |
机械泵 | 16m3/h |
检漏口 | KF25 |
测试方法 | 负压法,正压法（需选购吸枪） |
起动时间 | <2 分钟 |
使用温度范围 | 10℃~40℃ |
使用湿度范围 | 15%～80%（不得结露） |
输入电源 | AC 220V 10A 50Hz/60Hz |
最大功耗 | 1000W |
重量 | 83KG |
控制输入输出 | 系统开始/停止、机器故障、漏率报警设定点×4 、真空度 X2 等 |
模拟量输出 （记录仪） | 泄漏率，测试口压力：DC0-5V |
串行接口 | RS232C X2 ，RS485 |
设备校准 | 外部标准漏孔校准 |
调零 | 有手动调零功能 |
有自动调零功能（可以开/关） |
2.3. 设备可选配置
序号 | 名称 | 品牌型号 | 描述 |
1 | 内置标准漏孔 | 歌博科技 | |
2 | 吸枪 | 歌博科技 | 选购吸枪时需注明长度如3M、5M |
3 | 无线手持器 | 歌博科技 | 工作距离300米，1个发射端，1 个接收端 |
4 | 压氦罐 | 歌博科技 | 依据需方产品推荐压氦罐型号 |
5 | 检漏罐 | 歌博科技 | 依据需方产品推荐检漏罐型号 |
6 | 检漏工装 | 歌博科技 | 依据需方产品定制 |
7 | 检漏仪推车 | 歌博科技 | 可选配置 |
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