此款旋涂机结构紧凑，具备众多先进功能。这款 650 系列涂布系统可容纳直径达 300 毫米的晶圆以及 9 英寸×9 英寸（229 毫米×229 毫米）的基板，其转速可达 12000 转/分钟（基于直径 100 毫米的硅晶圆）。
23B款：
圆形基底尺寸：直径150mm , 6英寸
方形基底尺寸：125mm , 5英寸
8B款：
圆形基底尺寸：直径200mm , 8英寸
方形基底尺寸：178mm , 7英寸
15B款：
圆形基底尺寸：直径300mm , 12英寸
方形基底尺寸：230mm , 9英寸
