【半导体制冷机，半导体冷水机，珀尔帖冷水机】

机型介绍：
本产品是为晶圆清洗与刻蚀工序中控制各种化学品温度而开发的化学
品专用温控器，产品由电控单元与换热单元两部分组成，通过对
采集到的热交换器内部的化学品循环液温度与设定温度的差异变
化，进行 PID 控制运算，向热交换器内部的半导体制冷片输出合适方向和占空比的脉冲电流，实现对化学品循环液温度的控制。
性能特点：
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温湿度控制良好的环境，具有液面下降、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。
应用领域：
本产品是为晶圆清洗与刻蚀工序中控制各种化学品温度而开发的化学品专用温控器。本产品适用化学液体：10~60℃碱性溶液（5%以下氨水，20%以下过氧化氢、50%以下氢氧化钠）10~40℃酸性溶液（10%以下 HF，96%以下浓硫酸，5%以下盐酸、5%以下硝酸等）使用混合液时需要提供混合比例，试验确认可行性。