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Parylene真空镀膜机 化学气相沉积(CVD)工艺设备
不限
280000
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产品属性
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品牌
其他
型号
XF-L800
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
工业涂层
极限真空度类型
高真空0.00001~0.1Pa
极限真空度
0.5Pa
镀膜室尺寸
800mm
工作真空度
0.5Pa
抽气时间
10min
尺寸
3600mm*1000mm*1700mm
设备总重量
1200kg
真空泵抽气速率
2000L/MIN
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