日本MRM气动阀MLSV-4是一款专为半导体IC生产设计的树脂阀，具有高精度、耐腐蚀等特性：
产品特点• 高精度控制：采用先进技术和精密控制机制，能控制流体流量和压力，确保半导体制造工艺的稳定性和可靠性。• 耐腐蚀材料：接流体部位材料为氟化乙烯树脂（PFA/PTFE），可有效抵御氢氟酸、硫酸、氨水等强腐蚀性超纯化学品的侵蚀，金属离子析出量＜0.1ppb，避免晶圆加工过程中的污染。• 超低粉尘处理：通过表面粗糙度加工、精密清洗、全平构造等设计，在开关过程中产生的粉尘量低，减少对半导体生产环境的污染。• 独特安全构造：充分考虑高压和热循环等恶劣工况，采用特殊密封结构防止高压泄漏，选用耐高温材料保证热循环过程中的长期稳定运行。• 快速响应：气动控制阀响应时间＜0.1秒，能快速调整流体流量和压力，满足半导体制造中高频开关和快速工艺变化的需求。
应用场景
主要应用于半导体制造全流程，包括晶圆清洗与蚀刻、光刻胶涂布、化学机械抛光（CMP）、药液回收与循环等环节，可准确控制化学品的流量与压力，确保工艺的精度和良率。
外观及连接方式MRM气动阀MLSV-4系列通常采用PFA主体，支持火炬连接及F60连接（3/8″~1″），部分型号有小型化设计，适用于各种接头，可满足半导体设备紧凑空间的安装需求。
代理品牌
化学用品:3M,CEMEDINE施敏打硬,KONISHI小西,CHEMITECH凯密,SHINETSU信越化学,THREEBOND三键,TOAGOSEI东亚合成,DAIZO大造,ALTECO安特固,SUMICO住矿,NIHON-KOSAKUYU日本工作油,KYODOYUSHI協同油脂,KANTOKASEI关东化成,SUNECON太阳化工,HOLTS武藏.
环境设备:NIPPONMUKI日本无机,AMANO安满能,CHIKO智科,KAIJO凯捷,SUIDEN瑞电,ARIMITSU有光,ONIKAZE赤松,SANRITSUKIKI三立机器,OHM欧姆电机,YODOGAWA淀川电机,SHOWADENKI昭和电机,MEITOU名东化工,GSCLEAN捷斯克林,MURAKOSHI村越,RYOUSEI菱正.
FA自动化:SMC,THK蒂业技凯,CKD喜开理,KONSEI近藤,HOWA丰和,CHIYODA千代田,KOGANEI小金井,PISCO匹士克,MIRAI未来工业,FREEBEAR菲尔贝尔,TRUSCO中山,FLOBEL福禄伯乐,MIKIPULLEY三木普利,IMAO今尾,KOSHIN工进,NKE中村,ANLET安耐特,MALHATY丸八,FUJIKOATSU富士高压,TAISEI大生工业, NABEYA锅屋,TAIKO大晃机械,KOKUSAIDENGYO国际电业,OJIDEN大阪自动机,DAIWADENGYO大和电业,DAIKIN大金工业,NITTA霓达,MIYOSHI 三好机械,YASKAWA安川,YUKEN油研工业,KAKUTA角田兴业,NANABOSHI七星科学,KYOWA共和电业,METROL美德龙,MACOME码控美.
新能源动力电池：
日本旭精工、熊谷理机
物流搬运机械：
BISHAMON 毘沙门、OPK 鸥琵凯
