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派珂纳米专业生产派瑞林parylene真空气相沉积设备
不限
300000
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产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
派珂
型号
HPC/VPC
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
集成电路
极限真空度类型
高真空0.00001~0.1Pa
极限真空度
0.1Pa
镀膜室尺寸
640*550mm
工作真空度
3Pa
抽气时间
3-5min
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