SIMCO思美高 Pinner 5-point  日崎PINNER 线性静电充电器

SIMCO思美高 Pinner 5-point  日崎PINNER 线性静电充电器

一、产品基础概述

4214 扩展兼容型在线 N₂离子发生器为 SIMCO 思美高面向超高洁净制程打造的一体式管路电离设备，采用直通式管路集成结构，可直接串联氮气输送管路、半导体设备腔体、晶圆载具吹扫管路内部。设备利用高频 AC 电晕电离高纯氮气，在氮气吹扫同步完成工件表面静电中和，适配 ISO 1 级无尘环境，可对接自动化设备 PLC 系统输出工况警报信号，缓解晶圆、光学元件、精密芯片表面静电吸附微颗粒造成的制程不良，适配各类高纯氮气密闭工艺工位集成使用。

二、产品定位与适配说明

该机型定位在线管路式洁净电离方案，属于扩展兼容结构设计：支持单台独立管路接入，也可多台搭配分流歧管串联拓展覆盖更大加工区域；管路接头采用标准化世伟洛克接口，可兼容市面主流高纯氮气输送管路、半导体设备内置吹扫模块，无需额外转接改造即可完成设备配套，适配新旧精密产线同步改造升级。

三、核心规格参数

电气参数

输入供电：24V DC±5%，典型功耗 6W，工作电流 0.25A

电离方式：高频 AC 电晕放电

离子平衡：≤±25V（测试距离 150mm，40LPM 氮气流量、无外接歧管工况）

除电效率：±1000V 衰减至 ±100V 耗时低于 10 秒（150mm 测试距离，标准氮气流量）

信号输出：开关触点信号，用于离子衰减、低流量异常警报反馈

保护机制：低氮气流量下自动切断高压，降低电极损耗

气路与洁净参数

适配气源：高纯氮气，气源纯度不低于 99.998%

氮气流量区间：40LPM (36.5kPa)~90LPM (171kPa)，最大耐受吹扫压力 207kPa

允许气源温度：≤60℃

洁净等级：基础 ISO Class 1（0.1μm 颗粒），拓展工况可满足 10nm 颗粒管控标准

电极材质：单晶硅可替换电极，运行过程不易析出杂质颗粒

管路接口：氮气吹扫入口 3/8" 世伟洛克 OD 接头；电离氮气输出端 1/4NPT 内螺纹，可选配套转换接头

物理与环境参数

整机尺寸：152.4mm×72.4mm×32mm（不含外接接头）

整机重量：640g

外壳材质：不锈钢壳体

工作环境温度：15℃~60℃

合规认证：CE、RoHS2

四、设备应用特点

整机将高压供电、电离腔体、监测传感模块一体化集成，机身结构紧凑，可嵌入狭小设备腔体、真空过渡仓、晶圆清洗工位内部；单晶硅电极搭配内部自清洁结构，长期连续运行可维持稳定洁净输出，减少频繁拆机维护频次。内置实时离子状态监测单元，可远程反馈设备运行状态，便于产线集中管控；高低流量区间均可稳定输出均衡正负离子，搭配氮气吹扫同步去除表面微尘与静电，多用于半导体晶圆制程、光学元件镀膜、精密芯片封装、微型传感器组装等高洁净密闭加工场景。