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一、真空吸笔（Vacuum Pens）

真空吸笔是FLUORO的核心产品之一，为晶圆及精密元件的无接触吸附搬运而设计。

‌C系列（如C001、C002、C003）‌：主体采用导电尼龙覆盖，吸嘴由导电PEEK（聚醚醚酮）制成，电阻值在10⁶至10⁸欧姆之间，提供好的静电保护。适用于5寸、6寸、8寸和12英寸晶圆处理。

‌F系列（F001、F002）‌：采用模块化设计，可根据需求更换不同吸附头（晶圆吸附头、喷嘴或垫），适应不同形状和尺寸的搬运对象。

‌防酸系列‌：吸盘接头使用铁氟龙（Teflon/PTFE）材质，耐强酸碱腐蚀，适用于酸蚀环境或精密器械维修场景。

‌笔身（如COO1-Y）‌：作为吸笔的核心组件，可装配不同吸头，用于吸取小型元件，结构简洁、拆装方便。

二、真空镊子（Vacuum Tweezers）

真空镊子利用真空吸附原理进行精密夹持，减少物理接触造成的划伤或污染。

‌M系列（如M100-100、M110-100）‌：为处理4寸半导体硅晶圆设计，可耐高温至130°C，无胶且无金属零件直接接触晶面。吸嘴材质可选橡胶、硅胶、PTFE、陶瓷等，配合手动或自动（压力传感器+PLC系统）真空度调节方式，实现吸附/释放的控制。

三、手动棒/晶片镊子（Manual Wafer Tweezers）

与传统金属镊子不同，FLUORO手动棒通过设计实现轻柔而牢固的晶圆夹持。

‌L系列‌：可连续耐受高达130°C温度，适用于4、5、6、8和12英寸晶圆处理，无胶水或金属部件，提供PEEK、PPS和导电PEEK多种材质选择，接触晶圆表面区域经光学抛光以减少颗粒。

‌H系列‌：耐温更高，可达288°C，适用于6寸和8寸晶圆，采用Vespel材料牢固粘接在不锈钢基体上，强度更高。

四、伯努利卡盘（Bernoulli Chucks）

这是FLUORO具创新性的非接触式晶圆传输产品。

‌BC系列‌：利用伯努利效应，低压空气从垫片表面的小直径孔注入，将晶圆"悬浮"吸附，实现完全无接触搬运。主体采用导电MC尼龙，导向环为抗静电聚碳酸酯，可目视确认吸力状态。提供20°、45°、90°三种手柄角度，兼容2英寸至12英寸晶圆，甚至可处理50µm薄晶圆。操作部分为小型笔式气阀（搭配C001），单手即可操控。需配备9升以上储罐压缩机和调节器使用。

五、真空泵及配套耗材

‌真空泵（如FV-60、FV-60-240）‌：小巧低噪音、长时间低维护，为配合真空吸笔和真空镊子系统使用。

‌配套管线与配件‌：包括抗静电真空管线（表面电阻率10³至10⁶Ω/cm²）、气管（如851-L）、各种规格吸嘴、防静电管等，使整套系统无静电累积风险。