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ULVAC 爱发科 Qulee CGM2 系列紧凑型工艺气体监测仪（RGA），专为磁控溅射量产产线开发，相比 BGM2、HGM2 系列更适配溅射工艺中相对偏高压力工况，无需差分排气结构，结构紧凑、安装便捷，是镀膜行业主流在线气体监测设备。全系包含四款型号，可依据检测质量范围与灵敏度选型。

CGM2-051

量程 1～50amu，法拉第杯检测器，经济型基础款，专注监测水汽、氮气、氧气等常见小分子气体，适合常规溅射腔体本底监控、简易漏检。

CGM2-052

量程 1～50amu，搭载电子倍增管，灵敏度显著提升，精准捕捉微量水汽、微量杂质，适合光学膜、精密镀膜品质管控。

CGM2-101

量程拓宽至 1～100amu，法拉第杯机型，除常规空气组分外，可监测简单碳氢杂质、工艺反应副产物，适配多元靶材溅射产线。

CGM2-102

1～100amu 搭配电子倍增管，兼顾宽质量范围与高灵敏度，是平板显示、光学镀膜、装饰镀膜产线选用主力型号。

设备支持传感器最高 120℃原位烘烤，有效去除离子源吸附水汽，抑制基线漂移；离子源、灯丝模块化设计，拆装维护简单，减少产线停机时间。自带独立操作单元，支持 One Click 一键测量；通过以太网组网，搭配 QCS 软件自动保存谱图、趋势数据，便于工艺追溯。

主要用于溅射腔体残余水汽管控、杂质气体监测、腔体泄漏排查，实时监控真空环境变化，提前预警密封老化、原材料放气超标问题，稳定镀膜工艺，降低膜层缺陷，提升产品良率。标准 KF 法兰安装方式，可直接集成至各类连续溅射设备、批量式真空镀膜机。