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一、真空吸笔(Vacuum Pens)
真空吸笔是FLUORO的核心产品之一,为晶圆及精密元件的无接触吸附搬运而设计。
C系列(如C001、C002、C003):主体采用导电尼龙覆盖,吸嘴由导电PEEK(聚醚醚酮)制成,电阻值在10⁶至10⁸欧姆之间,提供好的静电保护。适用于5寸、6寸、8寸和12英寸晶圆处理。
F系列(F001、F002):采用模块化设计,可根据需求更换不同吸附头(晶圆吸附头、喷嘴或垫),适应不同形状和尺寸的搬运对象。
防酸系列:吸盘接头使用铁氟龙(Teflon/PTFE)材质,耐强酸碱腐蚀,适用于酸蚀环境或精密器械维修场景。
笔身(如COO1-Y):作为吸笔的核心组件,可装配不同吸头,用于吸取小型元件,结构简洁、拆装方便。
二、真空镊子(Vacuum Tweezers)
真空镊子利用真空吸附原理进行精密夹持,减少物理接触造成的划伤或污染。
M系列(如M100-100、M110-100):为处理4寸半导体硅晶圆设计,可耐高温至130°C,无胶且无金属零件直接接触晶面。吸嘴材质可选橡胶、硅胶、PTFE、陶瓷等,配合手动或自动(压力传感器+PLC系统)真空度调节方式,实现吸附/释放的控制。
三、手动棒/晶片镊子(Manual Wafer Tweezers)
与传统金属镊子不同,FLUORO手动棒通过设计实现轻柔而牢固的晶圆夹持。
L系列:可连续耐受高达130°C温度,适用于4、5、6、8和12英寸晶圆处理,无胶水或金属部件,提供PEEK、PPS和导电PEEK多种材质选择,接触晶圆表面区域经光学抛光以减少颗粒。
H系列:耐温更高,可达288°C,适用于6寸和8寸晶圆,采用Vespel材料牢固粘接在不锈钢基体上,强度更高。
四、伯努利卡盘(Bernoulli Chucks)
这是FLUORO具创新性的非接触式晶圆传输产品。
BC系列:利用伯努利效应,低压空气从垫片表面的小直径孔注入,将晶圆"悬浮"吸附,实现完全无接触搬运。主体采用导电MC尼龙,导向环为抗静电聚碳酸酯,可目视确认吸力状态。提供20°、45°、90°三种手柄角度,兼容2英寸至12英寸晶圆,甚至可处理50µm薄晶圆。操作部分为小型笔式气阀(搭配C001),单手即可操控。需配备9升以上储罐压缩机和调节器使用。
五、真空泵及配套耗材
真空泵(如FV-60、FV-60-240):小巧低噪音、长时间低维护,为配合真空吸笔和真空镊子系统使用。
配套管线与配件:包括抗静电真空管线(表面电阻率10³至10⁶Ω/cm²)、气管(如851-L)、各种规格吸嘴、防静电管等,使整套系统无静电累积风险。






我司优势品牌一览明细:
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、PFERD马圈、TEMTOP乐控、JIKCO吉高
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、OTSUKA大塚电子、TSUBAKI椿本
NS日本科学、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、EBARA荏原、ULVAC爱发科、TORAY东丽
RIYYO理阳、WATSON沃森、KAKUHUNTER写真化学、HEIDON新东科学、NIKKATO日陶、ULVAC爱发科等
USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND爱安德、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤,INTECS,RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
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