激光式晶圆表面缺陷检测装置Laser Explorer
显微镜式晶圆表面缺陷检测装置K-IM-G100
带缺陷检测功能的薄膜表面缺陷检测装置K-LE-G200
硬盘表面缺陷检测装置DSIS-2015

显微镜式晶圆表面缺陷检测装置K-IM-G100特点：
基于独自图像处理技术的缺陷提取与辨别功能
在观察缺陷的同时实现高精度标记
针对其他设备检测的晶圆，可基于缺陷坐标进行观察，并创建缺陷图集。
功能：搭载微分干涉显微镜的表面缺陷检测装置，适用于透明材料。该装置能够输出全面检测的缺陷图谱，并对检测到的缺陷进行显微镜观察。

激光式晶圆表面缺陷检测装置Laser Explorer特点：
高功率激光检测微小缺陷
区分缺陷的凹凸
可区分0.1、0.2、0.3um的PSL缺陷（SiC透明晶圆）
全数自动对焦+形变跟踪功能
卓越的性价比
支持定制（软件规格、卡盒数量等）
支持卡盒到卡盒的自动检测
功能：
通过对半导体基板表面照射高功率激光，检测划痕、凹坑等微小表面缺陷，并按缺陷类型分类、显示结果。每盒（25片）约需40分钟（4英寸10微米间距）进行检测。