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半导体材料检测设备硅单晶X射线定
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丹东辽东射线仪器有限公司
中国 丹东
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用途:该仪器专门用硅单晶棒定向测量,与我公司生产的YX-5Z/6Z及多线切割设备配套使用,最大特点是,测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角,X和Y值,并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。结构:该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。计算机软件采用国际通常算法,以度为单位,显示最小精度0.001度,测量精度±0.008度(±30′),能够测量直径3-8英寸,长450mm,测量晶面为111、100等。
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