详细说明 1．MicroStage是横河公司推出的独特的整合了直线电机、横河直接驱动电机的三轴运动平台。DYNASERV在市场取得好成绩的销售已经有10年了，伴随着DYNASERV系列直接驱动伺服的发展，LINEARSERV系列直线电机也取得了良好的发展与壮大。 MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。 MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备，特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上，这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。正交度：25um平行度：＋-20um(全行程)重复定位精度：＋－0.1um（全行程）
