该系列真空泵可单独使用，亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用，设有气镇阀时，可抽送适量的可凝性气体、湿空气或气水混合气体，但介质中不能含有颗粒状固体物质。