仪器型号 EP-1(立式) EP-1(立式) ORION-400H(卧式) ORION-400V(立式) HELIOS-35OH(卧式) HELIOS-35OV(立式) 量测行程（X，Y）） 150×50 ㎜ 200×100 ㎜ 250×150mm 200×800mm 200×150mm 200×100mm Z 轴行程（调焦） 80 ㎜ 80 ㎜ 100mm 100mm 100mm 100mm 仪器精度(um) 3+L/100 3+L/100 2.5+L/100 2.5+L/100 2.5+L/100 2.5+L/100 光学尺解析度 0.001㎜ 0.001㎜ 0.001mm 0.001mm 0.001mm 0.001mm 投影屏尺寸 直径312 ㎜ 直径312 ㎜ 直径400mm 直径400mm 直径350mm 直径350mm 角度解析度 0.01° 0.01° 0.01° 0.01° 0.01° 0.01° 物镜放大倍数 10×，20×，50×任选一组含半反镜 仪器照明 24V/150卤素灯 数据处理器 DC-3000中文数据处理器 780-MT-1000C英文处理装置 780-MT-1000C英文处理装置