美国ALLBORG公司生产的AF系列质量流量计（AFM）和控制器（AFC），可以测量和控制气体流量。 特点：l
坚固金属铸造l
最大压力可达1000paig（70bars）l
0-5Vdc或者4-20m A信号l
泄露率小于1×10-9SCCMl
±1%满量程l
可选累积器l
电源保护 性能指标： 精确度（包括线性度）±1%满量程，包括59？到77？的气体温度（15℃到25℃）和10到60psia（0.7到4.1bar）的压力。±2%满量程，包括41？到122？的气体温度（5℃到50℃）和5到150psia（0.35到10.3bar）的压力。重复性±0.2%满量程时间常数AFM系列-300msAFC2600(Qmax=15Sl/min)-300msAFC3600(Qmax=50Sl/min)-600msAFC4600(Qmax=100Sl/min)-600ms回应时间AFM系列设定点的±2 %超过满量程的20%-100%AFC2600(Qmax=15Sl/min)设定点的±2 %超过满量程的20%-100%大约1秒AFC3600(Qmax=50Sl/min)和AFC4600(Qmax=100Sl/min)设定点的±2 %超过满量程的20%-100%大约2秒温度系数0.1%满量程/℃压力系数0.01%满量程/psi(0.07bar)最适宜气体压力