应用：微加工、激光诱导荧光、高精度打标、半导体划片、超快成像，细胞切割等。 技术参数输出波长266 nm平均输出功率3 W输出功率稳定性<3%脉冲宽度20 ns脉冲重复率0～100KHz光谱范围~0.3nm光束质量TEM00光斑大小2mm偏振度100:1光束发散角<1.5mrad工作温度10°C ~ 35ºC冷却方式水冷激光头寿命10,000小时激光头尺寸60cm(L)×40cm(W)×20cm(H)（或客户定制）