超纯水处理深一层除去水中的盐类和，使水的纯度提高（电阻率≥18MΩ.CM）。处理采用纯水泵、紫外线、精密过滤器、EDI装置、抛光混床、膜过滤器。EDI装置是应用有反渗透系统之后，取代混合离子交换床的成熟技术具有产水品质稳定，运行费用低，操作管理方便。占地面积小及无有害废水排放等优点。超纯水制备工艺的发展方向，已被全世界主要水处理工程公司所认证。自1986年EDI技术工业化以来，已有数千套EDI投入支行，尤其在制药、半导体、电力和光电等工业中得到了非常广泛的应用。总的说有八大优点：
①不需要酸碱再生；
②可连续生产：
③不需要处理废酸碱；
④运行成本低；
⑤系统设计安装简单；
⑥安装条件简单；
⑦出水水质稳定；
⑧标准设计。