一、物化性质： 氢氟酸是氟化氢的水溶液,为无色透明液体, 在25℃时密度1.15g/ml(50% HF)。对金属、玻璃、混凝土等具有强烈腐蚀性。

二、用 途： 在集成电路制造工艺中主要用于硅片清洗、腐蚀工序，用时可与过氧化氢、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。

三、毒性与防护： 有强烈腐蚀性，其蒸气具有刺激性，接触皮肤可引起严重烧伤且不易治愈，应先用大量水冲洗后就医。使用时应戴好防护用具，防止吸入呼吸道。

四、包装及贮运： 选择化学稳定性好的聚乙烯瓶，在超净环境下进行洗瓶和分装．避光、密封保存。