钽喷射靶材、钽钨合金靶材规格:直径（50-400）mm *厚度(3-28)mm  牌号：RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)纯度:  >=99.95%(最大99.99%)再结晶    :   95%最少
晶粒度   :  最小40μm表面粗糙度: Ra 0.4最大
平整度    : 0.1mm or 0.10%最大.
公差     :直径公差+/- 0.254
 铌喷射靶材:规格:直径（50-400）mm *厚度(3-28)mm纯度:  99.9%         再结晶    :   95%最少表面粗糙度: Ra 0.4晶粒度:＞＝ 40μm