具体型号VMS250 VMS300VMS400(X/Y/Z轴)量测行程(mm)250*150*200300*200*200400*300*200全机尺寸(mm)1000*650*1650X,Y轴量测精度（3+L/200）um放大倍率14-90倍光学尺解析度1 um测量系统OVM Lite重复性2 um操作方式手动CCD3D Family-S,41万像素，彩色机台承重量30KG