微波通常由直流或50MHz交流电通过一些特殊的器件来产生。可以产生微波的器件有许多种，但主要分为两大类：半导体器件和电真空器件。在电真空器件中能产生大功率微波能量的有磁控管，多腔速调管，微波
三、四极管，行波管等。在目前微波加热领域特别是工业应用中使用的主要是磁控管及速调管。目前国内用于工业加热的常用频率为915兆赫和2450兆赫。微波频率与功率的选择可根据被加热材料的形状、材质、含水率的不同而定。微波技术最早应用于军事方面。民用后为工业加热、干燥、杀菌提供了广阔的应用前景。在工业、化工、医疗等方面都得到广泛应用。一是利用其热效应，主要用于食品、药材、木材、化工产品等加热干燥。二是利用其生物效应，对食品、药材、农副土特产品等的低温杀菌、防霉保鲜等。