Hi-Megasonic高频超音波精密洗净机■---------------------------■■Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的■清洗,硬盘清洗,石英振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆■性材料等的超精密超声波清洗■◆内置CPU能和电脑主机进行相互通信(RS485,D-NET)■◆输出数字化管理: 采用3个数字对平常的输出工作状态进行■■高精度管理发振器配置 规格68101691017810178102输出功率600W450W900W900W工作频率950KHZ2MHZ950KHZ750KHZ发振方式VCO频率调整自動追尾PLL方式工作显示3位七段LED显示远程控制机构有使用环境温度0~40℃使用环境湿度0~80%工作电源AC200V 6AAC200V 6AAC200V 9.5AAC200V 9.5A外形尺寸320x520x144320x520x144460×500×143460×500×143重量約17㎏約25㎏ 振动板配置使用规格6寸晶圆8寸晶圆8寸晶圆12寸晶圆振动板规格7857S8857S79S98SL额定输入300Wx4300Wx6150Wx6300Wx16频率950kHz950kHz2MHz750kHz振动辐射面(mm)136x163165x215170x215275x319振动板材质SU316L振动体PZT使用最高温度70℃外形尺寸185x215x55255x305x55255x305x55410x340x65固定方式螺丝固定详细请浏览