1、临界流流量计把较为复杂的气体流量测量转变为较为简单的压力温度测量，因而容易达到较高的准确度。
2、临界流流量计无可动部件，避免了由于机械磨损而造成的准确度降低，寿命缩短。音速喷嘴和空气流的磨擦只会使喷嘴越磨越亮，准确度越高，不会损坏喷嘴，因此音速喷嘴“永远”不坏。
3、喷嘴后部的压力波动不能传到喷嘴前面。这是因为压力波动的传播速度和音速而在喷嘴喉部气体的流速也是音速，这样喷嘴后面的压力波动是无法传到前面的，所以通过喷嘴的气体流动相当稳定，从而造成临界流流量计的重复性非常好。
由于临界流流量计具有以上特点，因此国际流量界通常都用临界流流量计作为气体流量的传递标准