1.设备的主要功能 可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角），圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离），点线的处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离），直线度，凸度，对数曲线，槽深，槽宽，沟边距，沟心距，轮廓度，倾斜度，垂直距离，水平距离等形状参数。
2.设备的主要技术参数 测量长度：≤100mm Z 量程：10mm 可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大 光栅尺：X向分辨率1um Z向分辨率/量程：1/65536 工作压力：
0.35-0.43Mpa 气源压力：
0.45-0.80Mpa 气源流量：≥0.2m³/min 电源：AC 220V±10% 50Hz 环境要求：湿度：10-30℃，相对湿度：
