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单晶寿命测试仪
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广州半导体材料研究所
中国 广州
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DSY-II型单晶寿命测试仪,用于测量硅单晶的非平衡少 数载流子寿命。
它是检验半导体单晶质量的关键设备之一。
本仪器灵敏度较高,配备有红外光源,可测量包括集成电路 级硅单晶在内的各种类型硅单晶,以及经热处理后寿命骤降 的硅单晶、多晶磷检棒的寿命测量等。
主要技术性能: * 测试单晶电阻率范围: >3Ω.cm; * 可测单晶少子寿命范围: 20μS-5000μS; * 配备光源类型:红外光源,波长:
1.09μm;余辉
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