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ZLDS/N-100激光高频纳米位移振动计
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深圳市真尚有科技有限公司
深圳市南山区南山大道1110号中油大厦2205-2210
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测量点直径μm
100
传感器探头基准距
3.0mm
传感器体长
58.7mm
垂直容忍度
±0.1°
带宽KHz
100
电缆长度
460mm
分辨率nm
15
供电
±12VDC @80mA
技术参数
ZLDS/N-100
控制器尺寸
98x32x13mm
量程μm
100
线性度μm
±5
信号接收范围μm
±400
允许表面反射度%
4~100
重复性nm
±75
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。它的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,它可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
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