技术参数：
真空度测量范围： 1 × 10~ 1 × 10
离子电流测量范围： 1 × 10~ 1 × 10
测量误差： <5%
测量分辨率： 10 Pa
充许环境温度：-20 ℃~50 ℃
空气湿度： <85%RH
电源： AC220V ± 10%　 50HZ
外形尺寸： 430 × 300 × 215 （ mm ）
高压输出：脉冲 30KV　15KHZ
重量： 8kg