Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪型号：Talysurf CCI参考价格：面议产地：英国技术参数(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）(2) 分辨率： 0.1 A(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。主要特点•专利的相干相关算法•0.01nm分辨率•10-20秒测量时间•RMS重复性：
0.03A仪器介绍Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
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