气体供应商提供的高纯氩气在输送过程中由于环境的原因,会产生污染,使气体的纯度降低,这对于某些领域是不允许的。
北氧牌高纯氦气终端纯化器采用组合式净化气的工艺路线,净化原理是:原料气首先通过催化反应器,由高效催化氧化剂氧化脱除氢、氧、一氧化碳、甲烷(烃类)等大部分气体杂质,得到高品质氦气。如气体纯度要求达到>99.9999%,则采用复合金属合金净化剂吸收残余的氦气中的微量气体杂质,得到超高纯氦气。
产品气流量:1-300Nm3/h
产品纯度:>99.99999%
特点:本产品可现场再生,材料选用不锈钢抛光材料,处理精度高,流量大,寿命10年以上,经过净化后的气体可达到ppb级净化。
应用范围:激光切割、航天航空、微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。