气体供应商提供的高纯气体在输送过程中由于环境的原因,仍会产生污染,使气体的纯度降低,这对于某些领域是不允许的。如单晶硅的拉制,半导体、大规模集成电路的研制和生产等。在这种场合下,一般采用气体终端净化器,以保证向生产过程中供气的质量。
99.9999%,则采用专门用于净化氮气的活性金属合金净化剂吸收残余的氮气中杂质,得到超高纯氮气。
处理气量:0.5-300m3/h
氮气纯度:99.999-99.9999999%
应用范围:主要用于金属热处理加工,磁性材料生产、半导体外延生产、液晶显示材料生产、生物医药等,它们广泛的用于气体行业、电光源行业、半导体行业、科研行业。