TYFB-3600涡轮分子泵技术数据 技术数据 TYFB-3600涡轮分子泵高真空法兰（mm） 400 ISO-K 前级管道法兰（mm） 100 ISO-K 抽气速（L/S） 3600 压缩比 N2 >108 H2 >5×102 极限压强（Pa）帕 <2×10-6 电机转速（n/min） 12600 振动值 ≤0.15μm 启动时间（min） <10 停机时间（min） <20 建议采用的前级泵 30—70 L/S 冷却方式 水冷风冷泵环境温度 ≤25℃ 水冷泵冷却水温度 ≤20℃ 水冷冷却水流量（L/min） 1 泵体烘烤温度 <120℃ 安装方向 垂直±5° 泵重量（kg） ≈100